採用了高剛性結構的薄型平台，一體式的馬達電控連結；在基座、工作台之間的四角平面裝上組合了交叉直線導軌、滾柱軸承和滾珠導螺桿的模組結構，中央部用載重單元承受力量，實現了超薄型結構。其特點如下：

- 對應大型工件

  藉由安裝所需數量的模組，也可以對應更大的尺寸。

- 超薄型、輕量、穩度

  因為採用XYθ模組，所以實現了無中座的薄而輕而穩的機構。

- 中空結構

  工作台、基座中央部分獲得較大的空間，可以作為光學式檢查裝置使用。

- 載重單元

  中央部用採用專利載重單元承受力量，達到小型高荷重的實現。

- 高剛性、高精度

  對構成模組的交叉直線導軌和滾柱軸承施加了預壓，搭配精密級滾珠導螺

  桿，是高精度、高剛性的結構。