采用了高刚性结构的薄型平台，一体式的马达电控连结；在基座、工作台之间的四角平面装上组合了交叉直线导轨、滚柱轴承和滚珠导螺杆的模块结构，中央部用载重单元承受力量，实现了超薄型结构。其特点如下：

- 对应大型工件

  藉由安装所需数量的模块，也可以对应更大的尺寸。

- 超薄型、轻量、稳度

  因为采用XYθ模块，所以实现了无中座的薄而轻而稳的机构。

- 中空结构

  工作台、基座中央部分获得较大的空间，可以作为光学式检查装置使用。

- 载重单元

  中央部用采用专利载重单元承受力量，达到小型高荷重的实现。

- 高刚性、高精度

  对构成模块的交叉直线导轨和滚柱轴承施加了预压，搭配精密级滚珠导螺

  杆，是高精度、高刚性的结构。